2021年5月10日14：00，由电信学院青年学者论坛举办的第6次专家讲座暨学术交流会在静远楼会议室准时召开。本次会议特邀专家吴国强博士做主题为“氮化铝-单晶硅微机械谐振器”的报告。

吴国强博士自西安电子科技大学毕业后在中科院上海微系统所攻读博士学位，后在中航工业自控制所任工程师。2014年到2018年在新加坡科技局微电子研究院任研究，现任职于武汉大学工业科学研究院教授，博士生导师，一直致力于MEMS/NEMS传感器与智能微系统的研究。相关报告分为谐振器基本原理、压电材料特性、市场前景、商品化关键技术及AIN-on-Si MEMS谐振器及振荡器六个部分。详细介绍了谐振器的发展历程、商业化现状、用于电路时钟的振荡器解决方案，内容涉及驱动器原理、动态特性模拟、时钟噪声控制、材料选择及集成工艺制造等问题。MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）即微型机电系统，指大小在毫米级以下，构成元件尺寸在微米、纳米量级的可控制、可运动的微型机电装置。近年来随着MEMS技术的发展，微机械谐振器得到迅速发展，作为时间和频率的基准，谐振器是构成振荡器、滤波器和混频器等电子系统的基本部件。按照制作材料可分为单晶硅谐振器、多晶硅谐振器、碳化硅谐振器、多晶锗化硅谐振器和金刚石谐振器等。其中，单晶硅体模态微机械谐振器的Q值高、谐振频率大。为实现高精度时钟，采用AlN压电材料形成可调弹膜，改善单晶硅微机械谐振器频率特性，获得理想的动态电容、动态电感，降低时钟噪声。

在讲座期间，我院师、生结合自己的研究方向与吴教授展开了热烈的探讨。基于压电材料的声波滤波是我院可重构无线通信系统项目中射频滤波器的高水平解决方案，报告中的相关研究提供了科学数据及理论指导。此外，小型化技术也是大家请教的主要问题，现场氛围融洽。讲座尾声吴教授强调了多学科交叉的重要性，同时对我院研究生的朝气及对科研的热爱提出赞赏，热烈欢迎不同研究方向的同学与其进一步的交流与合作。