2019年11月23日，上海交通大学博士、清华大学博士后向小健和清华大学在读博士吴章辉应邀来我院做“MEMS与微系统－MEMS开关器件”和“超滑材料工艺与器件”方面的学术报告。学术报告会由电信学院院长南敬昌教授主持，参加此次报告会的有电信学院的教师、研究生和本科生。

向小健博士2012年本科毕业于东北大学机械系，2019年获得上海交通大学电子科学与技术专业博士学位，现为清华大学博士后，师从郑泉水院士从事超滑MEMS器件方面的研究。向小健博士一直从事微机电系统（MEMS）方面的研究工作，致力于MEMS静电执行器、RF-MEMS开关、MEMS惯性开关、能量采集器等器件的设计、仿真、制造和测试。针对RF-MEMS开关吸合电压高、闭合弹跳问题（严重影响寿命）、工艺鲁棒性等问题，首次提出了一种非线性变刚度抑制方法，得到了国际相关领域专家的关注，并应邀在IEEE Sensors和IEEE Transducers顶级会议上作口头报告（ORAL）。截止目前，向小健博士在本领域顶级期刊（IEEE JMEMS、APL、EDL、JMM等）与会议（IEEE MEMS、IEEE Sensors，IEEE Transducers）上已发表20余篇相关论文，并担任IEEE JMEMS、APL、SMS、JMM等顶级MEMS期刊审稿人。

吴章辉，2018年获得中国科学技术大学理论与应用力学学士学位，2018年至今为清华大学航天航空学院在读博士生，师从郑泉水院士从事超滑机理及MEMS器件研究。曾获得中国科学技术大学最高荣誉郭沫若奖学金，本科期间曾在美国康奈尔大学理论与应用力学系短期交流两个月，对各项异性材料失稳做了相关研究。博士期间，对高速超滑，二维大载荷高精度传感器的开发以及石墨烯和铜之间的摩擦磨损问题做了相关研究，目前已有2篇SCI论文，并有一篇PRL已送审。

向小健博士从微机电系统的基本发展历程、工艺实现方法、主要应用领域以及市场状况，MEMS惯性开关和RF-MEMS开关器件的基本原理、结构设计、基于表面微加工工艺的实现方法和动态特性测试等几个方面进行了深入浅出的讲解；吴章辉从超滑材料的基本发展历程、工艺方法、应用领域以及超滑MEMS器件等几个方面进行了深入的讲解。为广大师生开阔了学术视野和科研认知水平。

报告会后，向小健博士和吴章辉亲切地与教师和学生进行了讨论互动，探讨了MEMS开关方面、超滑工艺与应用等方面的问题。精彩的报告与热烈的互动，让学院广大师生开拓了眼界和思路。